光谱椭偏仪与晶圆微孔量测设备同步发布，公司量测产品线覆盖薄膜、关键尺寸与高深宽比微孔三大方向。
基于角分辨散射的非接触式光学量测设备正式发布，面向薄膜、光栅、纳米线及周期性微纳结构，可表征小于传统光学成像分辨能力的结构参数。
