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团队四项授权发明专利公开，覆盖缺陷检测、ANN 建模与纳米结构量测

团队在半导体量测方向已获授权发明专利四项，覆盖缺陷检测结构设计、基于 ANN 的光学特性建模数据库生成、堆叠纳米片结构测量模型构建与光电共封装器件制备。