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光谱椭偏仪

面向高校、科研院所与企业的精密光学测量仪器，通过检测反射光偏振状态变化获取椭偏参数 Ψ 与 Δ，测量纳米薄膜厚度、材料光学常数与多层膜结构，支持多角度、微区与晶圆自动 Mapping 配置。